SENTECH ist Projektpartner des Projektes „Erforschung hochflexibler optischer Präzisionsschichten auf Polymeroberflächen (FlexCoPas)“, welches durch die Förderinitiative „Innovative Anwendungen der Plasmatechnik“ des Bundesministeriums für Bildung und Forschung getragen wird. Innerhalb der vierjährigen Projektdauer konnten mithilfe des technischen Know-hows der Berliner Messtechnik-Profis sowohl innovative Messverfahren als auch ein Messgerät entwickelt werden, welche Schichtstapel oder auch störungsbehaftete Schichten präzise messen können.
SENTECH konnte innerhalb der Projektarbeit in zwei Bereichen Ergebnisse generieren:
Erstens wurde ein optisches Breitbandmonitoring entwickelt, welches auf der In-situ-Transmissionsmessung basiert. Dieses arbeitet mit adaptiven Strategien während der Abscheidung zur Bestimmung aktueller Dicken und zur Berechnung und Signalisierung der Abschaltpunkte der aktuellen Teilschicht. Weiterhin können Schichtänderungen des bereits abgeschiedenen Stapels (Kompaktierung, Brechzahländerung) betrachtet werden. Auch ist der Abgleich mit Schwingquarzdaten bei Verfügbarkeit erweiterbar, um die Designkorrektur für Zielspektren zu ermöglichen. Es können nun mehr als 10 Schichten ausgewertet werden. Vor allem ist die bei größeren Gesamtschichtdicken relevante Brechzahldrift im Material besser auszugleichen.
Anwendungen finden sich hier u.a. im Bereich von höherwertigen Filterschichten, bei denen es auf genaue Kantenlagen und Transmissionswerte ankommt.
Zum Zweiten konnte SENTECH ein Messgerät entwickeln, welches Transmissionsmessungen an Folien und Linsen durchführt. Bei der Vermessung von Folien sind Lage, Wölbungen, Wellen, Verspannungen und Mikrostrukturen, wie man sie auch von der Haushaltsfolie kennt, für die klassische Transmissionstechnik störend. Der SENTECH Messkopf beseitigt diese Nachteile für Messungen im Bereich 380 nm bis 2000 nm, er kann sogar alle Arten von Folien in Transmission vermessen. Der Messkopf ist sowohl als Desktopgerät als auch für die In-line-Messung von z.B. Rolle-zu-Rolle-Anwendungen einsetzbar.
Eine weitere Anwendung der hohen Lagetoleranz ist die Vermessung der Transmission von Linsen, bei denen die Krümmung durch den breiten Fangbereich kompensiert wird. Damit können z.B. Entspiegelungen einfach kontrolliert werden.
Das Projekt FlexCoPlas, endet nach knapp vierjähriger Laufzeit mit dem Jahr 2017. Es beschäftigt sich mit den vielseitigen Nutzungsmöglichkeiten des sogenannten „4. Elementes“ Plasma und dessen Anwendung als Schlüsselelement in vielen Branchen. Ziel ist es, durch systematische Erforschung entscheidende Verbesserungen und Innovationen von Plasmaschichten und Schichtstapeln herbeizuführen. Insgesamt 9 Unternehmen und Forschungseinrichtungen waren an dem vom BMBF geförderten Projekt beteiligt.
Kontakt: SENTECH Instruments GmbH, Pia Romanowski,
pia.romanowski@sentech.de
